-
Фильтрация газа высокой чистоты для полупроводниковой промышленности – серия HENGKO HF
Описание Газовый фильтр высокого давления специально разработан для использования в системах подачи газа высокой чистоты высокого давления и газовых шкафах сверхвысокой чистоты...
Посмотреть детали -
Обеспечьте сверхчистую фильтрацию газа для производства полупроводников и обеспечьте защиту от загрязнений...
Описание Специальный фильтр технологического газа, также известный как точечный линейный фильтр, специально разработан для полупроводниковой промышленности, чтобы точно удалять ...
Посмотреть детали -
Массовые и бытовые фильтры высокой чистоты для полупроводниковой промышленности
Описание Газовый фильтр высокой пропускной способности – специально разработан для фильтрации технологических газов сверхвысокой чистоты в производстве полупроводников. Прецизионный фр...
Посмотреть детали -
Решение для фильтрации газа в полупроводниковой промышленности — серия HF от HENGKO
Описание Газовый фильтр высокого давления специально разработан для использования в системах подачи газа высокой чистоты высокого давления и газовых шкафах сверхвысокой чистоты...
Посмотреть детали -
Линейные газовые фильтры, совместимые с чистыми помещениями: поддерживают поток воздуха и газа без примесей в ...
Описание Специальный фильтр технологического газа, также известный как точечный линейный фильтр, специально разработан для полупроводниковой промышленности, чтобы точно удалять ...
Посмотреть детали -
Фильтрация высокой чистоты для сверхчистого производства полупроводников
Описание Газовый фильтр высокой пропускной способности – специально разработан для фильтрации технологических газов сверхвысокой чистоты в производстве полупроводников. Прецизионный фр...
Посмотреть детали -
Усовершенствованный линейный газовый фильтр для нефтегазоперерабатывающих заводов
Описание Специальный фильтр технологического газа, также известный как точечный линейный фильтр, специально разработан для полупроводниковой промышленности, чтобы точно удалять ...
Посмотреть детали -
Массовые и универсальные фильтры для высокой точности в производстве полупроводников
Описание Газовый фильтр высокой пропускной способности – специально разработан для фильтрации технологических газов сверхвысокой чистоты в производстве полупроводников. Прецизионный фр...
Посмотреть детали -
Проточный газовый фильтр Т-типа необходим для чистой и надежной обработки полупроводников
Описание Специальный фильтр технологического газа, также известный как точечный линейный фильтр, специально разработан для полупроводниковой промышленности, чтобы точно удалять ...
Посмотреть детали -
Решения по фильтрации газов высокой чистоты для полупроводниковой промышленности
Описание Газовый фильтр высокой пропускной способности – специально разработан для фильтрации технологических газов сверхвысокой чистоты в производстве полупроводников. Прецизионный фр...
Посмотреть детали -
Проточный газовый фильтр Т-типа для производства полупроводников, промышленный Т-тип...
Описание Специальный фильтр технологического газа, также известный как точечный линейный фильтр, специально разработан для полупроводниковой промышленности, чтобы точно удалять ...
Посмотреть детали -
Фильтры максимальной чистоты для критически важных полупроводниковых процессов
Описание Газовый фильтр высокой пропускной способности – специально разработан для фильтрации технологических газов сверхвысокой чистоты в производстве полупроводников. Прецизионный фр...
Посмотреть детали -
Система фильтрации газа Т-типа для использования в газовых шкафах и системах подачи газа, высокоэффективная...
Описание Специальный фильтр технологического газа, также известный как точечный линейный фильтр, специально разработан для полупроводниковой промышленности, чтобы точно удалять ...
Посмотреть детали -
Диффузоры газа высокой чистоты и высокого давления для непревзойденной фильтрации и точного регулирования расхода...
Описание Диффузорный фильтр — это передовое решение, специально разработанное для быстрой вентиляции в вакуумных камерах, используемых в полупроводниковой промышленности.
Посмотреть детали -
IGS Filters Низкопрофильный фильтр с уплотнением для поверхностного монтажа Системы подачи газа для полупроводников
Описание Фильтры для поверхностного монтажа HENGKO разработаны с учетом жестких требований интегрированных газовых систем, используемых в полупроводниковых OEM-инструментах. Предлагая...
Посмотреть детали -
Встроенный газовый фильтр промышленного класса для систем очистки газа
Описание Специальный фильтр технологического газа, также известный как точечный линейный фильтр, специально разработан для полупроводниковой промышленности, чтобы точно удалять ...
Посмотреть детали -
Превосходная фильтрация и надежный контроль потока под высоким давлением для полупроводниковых процессов
Описание Диффузорный фильтр — это передовое решение, специально разработанное для быстрой вентиляции в вакуумных камерах, используемых в полупроводниковой промышленности.
Посмотреть детали -
Решения IGS для фильтров с уплотнением типа C для поверхностного монтажа для эффективных систем подачи газа
Описание Фильтры для поверхностного монтажа HENGKO разработаны с учетом жестких требований интегрированных газовых систем, используемых в полупроводниковых OEM-инструментах. Предлагая...
Посмотреть детали -
Высокопроизводительный линейный газовый фильтр из нержавеющей стали для фармацевтического производства
Описание Специальный фильтр технологического газа, также известный как точечный линейный фильтр, специально разработан для полупроводниковой промышленности, чтобы точно удалять ...
Посмотреть детали -
Инновационные решения для диффузоров газов высокой чистоты и высокого давления, специально разработанные для полупроводниковых...
Описание Диффузорный фильтр — это передовое решение, специально разработанное для быстрой вентиляции в вакуумных камерах, используемых в полупроводниковой промышленности.
Посмотреть детали
Полупроводниковые газовые фильтры:
Обеспечение безупречной чистоты газа при производстве чипов
В сложном мире производства полупроводников, где точность и чистота имеют первостепенное значение, качество
Используемые газы играют решающую роль в определении успеха процесса. Примеси, даже на бесконечно малых уровнях,
может нанести ущерб хрупким схемам микрочипов, делая их дефектными и непригодными для использования. Чтобы защитить
В этом критическом процессе полупроводниковые газовые фильтры являются непреклонными стражами, тщательно удаляя загрязнения.
и обеспечение безупречного качества газов, проходящих через производственные линии.
Фильтры из спеченного металла обладают множеством замечательных особенностей и преимуществ.
1. Создано в современной чистой комнате.
Эти фильтры созданы в современных чистых помещениях, в среде, где тщательно поддерживаются безупречные условия, чтобы свести к минимуму любое потенциальное загрязнение. Они проходят строгий производственный процесс, начиная с точной сварки в атмосфере очищенного воздуха. Последующая промывка деионизированной водой, за которой следует продувка фильтрованным азотом под высоким давлением, удаляет любые оставшиеся частицы и снижает риск их выпадения.
2. Исключительная эффективность удаления частиц.
Обладая замечательной эффективностью фильтрации 9 LRV для частиц размером 0,003 мкм и соответствующими строгим стандартам, установленным методами испытаний SEMI F38 и ISO 12500, эти фильтры эффективно удаляют любые частицы, образующиеся в результате коррозии, а также частицы, образующиеся на движущихся частях, обеспечивая первозданную чистоту газы.
3. Превосходная механическая прочность
Эти фильтры, прошедшие строгие испытания, гарантирующие исключительную устойчивость в сложных производственных процессах и средах, в которых часто используется высокое давление газа, обеспечивают неизменную производительность на протяжении всего срока службы.
4. Превышение самых высоких отраслевых стандартов
Эти фильтры, превосходящие строгие требования к фильтрации газов при обработке полупроводников, проходят строгие испытания, чтобы гарантировать, что они соответствуют критической эффективности фильтрации, точному контролю потока и стандартам безопасности, требуемым системами подачи газа в производстве полупроводников.
5. Непоколебимая приверженность безопасности
Чтобы защититься от воздействия легковоспламеняющихся, коррозийных, токсичных и пирофорных технологических газов, корпуса фильтров проходят тщательные испытания на герметичность, гарантируя, что они достигают впечатляющей скорости утечки менее 1x10-9 атм/сек. Эта непоколебимая приверженность безопасности гарантирует сдерживание опасных газов и предотвращение причинения вреда.
6. Бескомпромиссная чистота для совершенства в производстве микросхем
Благодаря своим исключительным возможностям фильтрации, неизменной приверженности безопасности и соблюдению самых высоких отраслевых стандартов эти газовые фильтры играют ключевую роль в обеспечении безопасности сложного процесса производства полупроводников. Они стоят на страже чистоты, гарантируя, что через производственные линии проходят только самые чистые газы, прокладывая путь к созданию высокопроизводительных микрочипов, которые питают наш современный мир.
Типы полупроводниковых фильтров
Полупроводниковые фильтры используются в различных приложениях, в том числе:
* Производство электроники:
Полупроводниковые фильтры используются для удаления частиц из сверхчистой воды, газов и химикатов, используемых при производстве полупроводников.
* Химико-механическая планаризация (ХМП):
Полупроводниковые фильтры используются для удаления частиц из суспензий CMP, которые используются для полировки полупроводниковых пластин.
* Биомедицинские:
Полупроводниковые фильтры используются для удаления частиц из жидкостей, используемых в медицинской диагностике и лечении.
* Относящийся к окружающей среде:
Полупроводниковые фильтры используются для удаления частиц из воздуха и воды.
Существует четыре основных типа полупроводниковых фильтров:
1. Мембранные фильтры:
Мембранные фильтры состоят из тонкой пористой пленки, которая пропускает жидкости и задерживает частицы.
2. Фильтры глубины:
Глубинные фильтры состоят из толстого извилистого слоя материала, который улавливает частицы, проходящие через фильтр.
3. Фильтры-адсорбенты:
Адсорбентные фильтры изготовлены из материала, который притягивает и удерживает частицы.
4. Фильтры из спеченного металла.
Фильтры из спеченного металла — это тип глубинного фильтра, который обычно используется в производстве полупроводников. Они изготавливаются путем спекания мелкого металлического порошка в пористую структуру. Фильтры из спеченного металла известны своей долговечностью, высокой эффективностью фильтрации и способностью выдерживать высокие температуры и давления.
Преимущества спеченных металлических фильтров для производства полупроводников:
* Высокая долговечность:
* Высокая эффективность фильтрации:
* Длительный срок службы:
* Химическая совместимость:
Применение спеченных металлических фильтров в производстве полупроводников:
* Очистка газа:
Фильтры из спеченного металла являются важной частью процесса производства полупроводников, помогая обеспечить производство высококачественных полупроводниковых приборов.
Тип полупроводникового фильтра, используемого в конкретном случае, зависит от размера удаляемых частиц, типа фильтруемой жидкости и желаемого уровня фильтрации.
Вот таблица, в которой суммированы различные типы полупроводниковых фильтров:
Тип фильтра | Описание | Приложения | Изображение |
---|---|---|---|
Мембранные фильтры | Изготовлен из тонкой пористой пленки, которая пропускает жидкости и задерживает частицы. | Производство электроники, CMP, биомедицина, экология | |
Глубинные фильтры | Изготовлен из толстого извилистого слоя материала, который улавливает частицы, проходящие через фильтр. | CMP, биомедицинский, экологический | |
Адсорбентные фильтры | Изготовлен из материала, который притягивает и удерживает частицы. | Производство электроники, CMP, биомедицина, экология | |
Металлокерамические фильтры | Изготовлен путем спекания мелкого металлического порошка в пористую структуру. | Очистка газа, химическая фильтрация, фильтрация сверхчистой воды, шламовая фильтрация CMP | Металлокерамические фильтры для полупроводников |
Приложение
Газовые фильтры из спеченного металла и полупроводника широко используются в различных областях полупроводниковой промышленности. Их уникальные свойства, такие как высокая эффективность фильтрации, долговечность и способность выдерживать высокие температуры и давления, делают их важным компонентом систем подачи газа в производстве полупроводников.
Вот некоторые из конкретных применений газовых фильтров из спеченного металла и полупроводника:
1. Производство вафель:
Фильтры из спеченного металла используются для очистки газов, используемых при производстве пластин, таких как азот, водород и кислород. Эти газы необходимы для таких процессов, как эпитаксиальный рост, травление и легирование.
2. Химическая фильтрация:
Фильтры из спеченного металла используются для фильтрации химикатов, используемых в производстве полупроводников, таких как кислоты, основания и растворители. Эти химикаты используются для различных целей, включая очистку, травление и полировку.
3. Фильтрация сверхчистой воды:
Фильтры из спеченного металла используются для фильтрации сверхчистой воды (UPW), используемой в производстве полупроводников. UPW необходим для очистки и ополаскивания пластин, а также для приготовления химикатов.
4. Фильтрация шлама CMP:
Фильтры из спеченного металла используются для фильтрации суспензий CMP, которые используются для полировки полупроводниковых пластин. CMP — важнейший процесс при производстве микрочипов.
5. Фильтрация в точке использования (POU):
Фильтры из спеченного металла часто используются в качестве фильтров POU, которые устанавливаются непосредственно в месте использования, чтобы обеспечить высочайший уровень фильтрации. Фильтры POU особенно важны для применений, где чистота газа имеет решающее значение, например, при производстве микропроцессоров и других высокопроизводительных устройств.
6. Обработка газа высокой чистоты:
Фильтры из спеченного металла используются в системах обработки газов высокой чистоты для удаления загрязнений из газов, используемых в производстве полупроводников. Эти загрязнители могут включать частицы, влагу и органические соединения.
7. Производство микроэлектроники:
Фильтры из спеченного металла используются в производстве микроэлектроники, такой как компьютеры, планшеты, сотовые телефоны, датчики Интернета вещей и устройства управления.
8. Микроэлектромеханические системы (МЭМС) фильтрации:
Фильтры из спеченного металла используются в MEMS-фильтрации, то есть процессе удаления загрязнений из микроэлектромеханических систем. МЭМС используются в различных приложениях, включая датчики, исполнительные механизмы и преобразователи.
9. Фильтрация устройств хранения данных:
Фильтры из спеченного металла используются при фильтрации устройств хранения данных, то есть процессе удаления загрязнений с устройств хранения данных, таких как жесткие диски и твердотельные накопители.
Помимо этих конкретных применений, газовые фильтры из спеченных металлов и полупроводников также используются во множестве других применений в полупроводниковой промышленности. Их универсальность и надежность делают их незаменимым инструментом для производителей полупроводников.
Ищете высококачественные газовые фильтры из спеченного металла и полупроводника?
HENGKO — ваш надежный партнер по OEM-решениям в системах производства полупроводников.
Наши прецизионные фильтры обеспечивают надежность и эффективность ваших процессов, предлагая вам преимущество на конкурентном рынке.
Почему стоит выбрать фильтры HENGKO?
* Превосходное качество и долговечность
* Индивидуальные решения, отвечающие вашим конкретным потребностям.
* Повышенная производительность при производстве полупроводников.
Не позволяйте проблемам с фильтрацией сдерживать ваше производство.
Свяжитесь с нами сегодня, чтобы узнать, как наши фильтры из спеченного металла могут революционизировать вашу производственную систему.
Свяжитесь с нами по адресуka@hengko.com
Станьте партнером HENGKO и сделайте шаг к совершенству в производстве полупроводников!