સેમિકન્ડક્ટર ગેસ ફિલ્ટર્સ

સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પ્રક્રિયામાં શા માટે ગેસ ફિલ્ટર્સનો ઉપયોગ કરવાની જરૂર છે? 

સેમિકન્ડક્ટર મેન્યુફેક્ચરિંગ પ્રક્રિયામાં કેટલાક ગંભીર કારણોસર ગેસ ફિલ્ટર આવશ્યક છે:

1. દૂષિત દૂર

સેમિકન્ડક્ટર ફેબ્રિકેશનમાં અસંખ્ય સંવેદનશીલ પ્રક્રિયાઓનો સમાવેશ થાય છે જ્યાં સૌથી નાના દૂષકો પણ,

જેમ કે ધૂળના કણો, ભેજ અથવા રાસાયણિક અવશેષો, હાનિકારક અસરો કરી શકે છે. ગેસ ફિલ્ટર દૂર કરે છે

પ્રક્રિયા વાયુઓમાંથી રજકણ, અશુદ્ધિઓ અને વાયુજન્ય દૂષકો, સ્વચ્છ વાતાવરણની ખાતરી

અને સેમિકન્ડક્ટર વેફર્સની અખંડિતતા જાળવવી.

2. અલ્ટ્રા-પ્યુરિટી ધોરણો જાળવવા

સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગને ઉપયોગમાં લેવાતા વાયુઓમાં અત્યંત ઉચ્ચ સ્તરની શુદ્ધતાની જરૂર હોય છે, કારણ કે અશુદ્ધિઓ

સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણોમાં ખામી તરફ દોરી જાય છે. ગેસ ફિલ્ટર અતિ-શુદ્ધ ગેસ ગુણવત્તા પ્રાપ્ત કરવામાં મદદ કરે છે, અટકાવે છે

દૂષણ અને ઉત્પાદનોની સુસંગતતા અને વિશ્વસનીયતાની ખાતરી કરવી.

3. રક્ષણાત્મક સાધનો

વાયુઓમાં રહેલા દૂષકો માત્ર સેમિકન્ડક્ટર વેફરને જ નુકસાન પહોંચાડી શકતા નથી પરંતુ સંવેદનશીલતાને પણ નુકસાન પહોંચાડે છે.

ઉત્પાદન પ્રક્રિયામાં વપરાતા સાધનો, જેમ કે રાસાયણિક વરાળ ડિપોઝિશન (CVD) રિએક્ટર અને

એચીંગ સિસ્ટમો. ગેસ ફિલ્ટર આ ખર્ચાળ મશીનોને નુકસાનથી બચાવે છે, જેનું જોખમ ઘટાડે છે

ડાઉનટાઇમ અને ખર્ચાળ સમારકામ.

4. ઉપજની ખોટ અટકાવવી

સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદનમાં ઉપજ નિર્ણાયક છે, જ્યાં ખામી ઉત્પાદનમાં નોંધપાત્ર નુકસાનનું કારણ બની શકે છે.

એક કણ અથવા રાસાયણિક અશુદ્ધિ પણ ઉપજમાં ઘટાડો કરી શકે છે, ઉત્પાદકતા અને નફાકારકતાને અસર કરે છે.

ગેસ ફિલ્ટર ખાતરી કરે છે કે પ્રક્રિયા વાયુઓ શુદ્ધ છે, દૂષણ ઘટાડે છે અને ઉપજમાં ઘટાડો કરે છે.

5. ઉત્પાદનની ગુણવત્તાની ખાતરી કરવી

સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદનમાં સુસંગતતા અને ગુણવત્તા સર્વોપરી છે. દૂષિત વાયુઓ સર્જી શકે છે

અસંગતતાઓ, અવિશ્વસનીય સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણો તરફ દોરી જાય છે. ગેસ ફિલ્ટર્સનો ઉપયોગ કરીને, ઉત્પાદકો કરી શકે છે

ખાતરી કરો કે દરેક બેચ જરૂરી કડક ગુણવત્તાના ધોરણોને પૂર્ણ કરે છે, જે ઉચ્ચ ઉપકરણ તરફ દોરી જાય છે

કામગીરી અને આયુષ્ય.

6. ડાઉનટાઇમ ઘટાડવું

પ્રક્રિયા વાયુઓમાં દૂષકો સાધનોની નિષ્ફળતા, જાળવણી અથવા રિપ્લેસમેન્ટની જરૂરિયાતનું કારણ બની શકે છે.

ગેસ ફિલ્ટર્સનો ઉપયોગ કરીને, ઉત્પાદકો અનપેક્ષિત ડાઉનટાઇમ ઘટાડી શકે છે, ઓપરેશનલ કાર્યક્ષમતા જાળવી શકે છે અને

નિર્ણાયક સાધનોનું જીવનકાળ લંબાવવું.

7. રાસાયણિક સુસંગતતા

સેમિકન્ડક્ટર પ્રક્રિયાઓમાં ઉપયોગમાં લેવાતા ઘણા વાયુઓ અત્યંત પ્રતિક્રિયાશીલ અથવા ક્ષતિગ્રસ્ત હોય છે. ગેસ ફિલ્ટર છે

અસરકારક રીતે અશુદ્ધિઓ ફિલ્ટર કરતી વખતે આ કઠોર રાસાયણિક વાતાવરણનો સામનો કરવા માટે રચાયેલ છે

સલામત અને અસરકારક પ્રક્રિયા.

એકંદરે, સેમિકન્ડક્ટરની શુદ્ધતા, વિશ્વસનીયતા અને સલામતી જાળવવા માટે ગેસ ફિલ્ટર મહત્વપૂર્ણ છે.

ઉત્પાદન પ્રક્રિયા, જ્યારે ઉચ્ચ-ગુણવત્તાવાળા, ખામી-મુક્ત સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદનો પ્રાપ્ત કરવામાં મદદ કરે છે

મૂલ્યવાન સાધનોનું રક્ષણ પણ કરે છે.

સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પ્રક્રિયામાં ગેસ ફિલ્ટર્સના પ્રકાર

સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પ્રક્રિયામાં, વિવિધ પ્રકારનાં ગેસ ફિલ્ટર્સનો ઉપયોગ વિવિધને સંબોધવા માટે થાય છે

ગેસ શુદ્ધતા અને સાધનોના રક્ષણ સાથે સંકળાયેલા તબક્કા અને પડકારો.

સામાન્ય રીતે ઉપયોગમાં લેવાતા ગેસ ફિલ્ટર્સના પ્રકારોમાં નીચેનાનો સમાવેશ થાય છે:

1. પાર્ટિક્યુલેટ ફિલ્ટર્સ

*હેતુ: પ્રક્રિયા વાયુઓમાંથી કણો, ધૂળ અને અન્ય ઘન દૂષકોને દૂર કરવા.

*ઉપયોગ: વેફર્સ, પ્રોસેસ ચેમ્બર અને સાધનોને કણોના દૂષણથી બચાવવા માટે ઘણીવાર વિવિધ તબક્કામાં ઇન્સ્ટોલ કરવામાં આવે છે.

* સામગ્રી: સામાન્ય રીતે sintered સ્ટેઈનલેસ સ્ટીલ, PTFE, અથવા અન્ય સામગ્રી જે ટકાઉપણું અને રાસાયણિક સુસંગતતા સુનિશ્ચિત કરે છે તેમાંથી બનાવવામાં આવે છે.

2. મોલેક્યુલર અથવા કેમિકલ ફિલ્ટર્સ (ગેટર ફિલ્ટર્સ)

*હેતુ: ભેજ, ઓક્સિજન અથવા કાર્બનિક સંયોજનો જેવા વિશિષ્ટ મોલેક્યુલર દૂષકોને દૂર કરવા માટે, જે પ્રક્રિયા વાયુઓમાં હાજર હોઈ શકે છે.

*ઉપયોગ: જ્યારે ઉચ્ચ-શુદ્ધતાવાળા ગેસની આવશ્યકતા હોય ત્યારે વપરાય છે, જેમ કે ડિપોઝિશન અથવા એચિંગ પ્રક્રિયાઓ દરમિયાન.

* સામગ્રી: ઘણીવાર સક્રિય ચારકોલ, ઝિઓલાઇટ અથવા અન્ય શોષક સામગ્રીનો ઉપયોગ કરીને બનાવવામાં આવે છે જે ખાસ કરીને મોલેક્યુલર અશુદ્ધિઓને ફસાવવા માટે રચાયેલ છે.

3. ઉચ્ચ શુદ્ધતા ગેસ ફિલ્ટર્સ

*હેતુ: અતિ-ઉચ્ચ શુદ્ધતા (UHP) ગેસ ધોરણો હાંસલ કરવા, જે સેમિકન્ડક્ટર પ્રક્રિયાઓ માટે મહત્વપૂર્ણ છે જ્યાં સહેજ અશુદ્ધતા ઉત્પાદનની ગુણવત્તાને અસર કરી શકે છે.

*ઉપયોગ: આ ફિલ્ટર્સનો ઉપયોગ કેમિકલ વેપર ડિપોઝિશન (CVD) અને પ્લાઝમા એચિંગ જેવી પ્રક્રિયાઓમાં થાય છે, જ્યાં અશુદ્ધિઓ ગંભીર ખામીઓનું કારણ બની શકે છે.

* સામગ્રી: ઉચ્ચ દબાણ અને આત્યંતિક પરિસ્થિતિઓમાં અખંડિતતા જાળવવા માટે વિશિષ્ટ પટલ સાથે સ્ટેનલેસ સ્ટીલમાંથી બનાવેલ.

4. બલ્ક ગેસ ફિલ્ટર્સ

*હેતુ: પ્રવેશના સ્થળે અથવા ઉત્પાદન લાઇનમાં વિતરણ પહેલાં વાયુઓને શુદ્ધ કરવા.

*ઉપયોગ: વ્યક્તિગત સાધનો અથવા રિએક્ટરને પૂરા પાડવામાં આવે તે પહેલાં ગેસને બલ્કમાં ફિલ્ટર કરવા માટે ગેસ ડિલિવરી સિસ્ટમમાં અપસ્ટ્રીમ સ્થિત.

* સામગ્રી: આ ફિલ્ટર્સમાં મોટાભાગે વાયુઓના મોટા જથ્થાને હેન્ડલ કરવા માટે ઉચ્ચ ક્ષમતા હોય છે.

5. પોઈન્ટ-ઓફ-યુઝ (POU) ગેસ ફિલ્ટર્સ

*હેતુ: દરેક ચોક્કસ પ્રોસેસિંગ ટૂલને પહોંચાડવામાં આવતા વાયુઓ કોઈપણ દૂષણોથી મુક્ત છે તેની ખાતરી કરવા માટે.

*ઉપયોગ: પ્રક્રિયાના સાધનો, જેમ કે એચીંગ અથવા ડિપોઝિશન ચેમ્બરમાં ગેસનો પરિચય થાય તે પહેલાં જ સ્થાપિત થાય છે.

* સામગ્રી: સેમીકન્ડક્ટર પ્રક્રિયાઓમાં ઉપયોગમાં લેવાતી પ્રતિક્રિયાશીલ વાયુઓ સાથે સુસંગત સામગ્રીમાંથી બનાવેલ છે, જેમ કે સિન્ટર્ડ મેટલ અથવા PTFE.

6. ઇનલાઇન ગેસ ફિલ્ટર્સ

*હેતુ: વિતરણ પ્રણાલીમાંથી પસાર થતા વાયુઓ માટે ઇનલાઇન ગાળણ પૂરું પાડવું.

*ઉપયોગ: મુખ્ય બિંદુઓ પર ગેસ લાઇનની અંદર સ્થાપિત, સમગ્ર સિસ્ટમમાં ચાલુ ફિલ્ટરેશન પ્રદાન કરે છે.

* સામગ્રી: વાયુઓ સાથે રાસાયણિક સુસંગતતા સુનિશ્ચિત કરવા માટે સિન્ટર કરેલ સ્ટેનલેસ સ્ટીલ અથવા નિકલ.

7. સરફેસ માઉન્ટ ગેસ ફિલ્ટર્સ

*હેતુ: કણો અને પરમાણુ દૂષકોને દૂર કરવા માટે ગેસ પેનલના ઘટકો પર સીધા જ માઉન્ટ કરવાનું.

*ઉપયોગ: ચુસ્ત જગ્યાઓમાં સામાન્ય, આ ફિલ્ટર્સ જટિલ કાર્યક્રમોમાં કાર્યક્ષમ પોઈન્ટ-ઓફ-ઉપયોગ ફિલ્ટરેશન પ્રદાન કરે છે.

* સામગ્રી: સેમિકન્ડક્ટર મેન્યુફેક્ચરિંગ ગેસ સાથે ટકાઉપણું અને સુસંગતતા માટે ઉચ્ચ શુદ્ધતાવાળા સ્ટેનલેસ સ્ટીલ.

8. સબ-માઈક્રોન ફિલ્ટર્સ

*હેતુ: અત્યંત નાના કણોને ફિલ્ટર કરવા માટે, ઘણીવાર પેટા-માઈક્રોન કદ જેટલા નાના હોય છે, જે હજુ પણ સેમિકન્ડક્ટર પ્રક્રિયાઓમાં નોંધપાત્ર ખામી સર્જી શકે છે.

*ઉપયોગ: ફોટોલિથોગ્રાફી જેવી અલ્ટ્રા-શુદ્ધ ગેસ સપ્લાય જાળવવા માટે ઉચ્ચતમ સ્તરના ફિલ્ટરેશનની જરૂર હોય તેવી પ્રક્રિયાઓમાં ઉપયોગ થાય છે.

* સામગ્રી: ઉચ્ચ ઘનતાવાળા સિન્ટર્ડ મેટલ અથવા સિરામિક સામગ્રી જે અસરકારક રીતે નાના કણોને પણ ફસાવી શકે છે.

9. સક્રિય કાર્બન ફિલ્ટર્સ

*હેતુ: કાર્બનિક દૂષકો અને અસ્થિર વાયુઓને દૂર કરવા.

*ઉપયોગ: એપ્લીકેશનમાં વપરાય છે જ્યાં વેફર દૂષણ અથવા પ્રતિક્રિયા વિક્ષેપને રોકવા માટે વાયુયુક્ત અશુદ્ધિઓ દૂર કરવાની જરૂર છે.

* સામગ્રી: કાર્બનિક અણુઓને શોષવા માટે રચાયેલ સક્રિય કાર્બન સામગ્રી.

10.સિન્ટર્ડ મેટલ ગેસ ફિલ્ટર્સ

*હેતુ: ઉચ્ચ દબાણ સામે માળખાકીય શક્તિ અને પ્રતિકાર પ્રદાન કરતી વખતે અસરકારક રીતે કણો અને અશુદ્ધિઓ દૂર કરવા.

*ઉપયોગ: સેમિકન્ડક્ટર પ્રક્રિયાના બહુવિધ તબક્કામાં વ્યાપકપણે ઉપયોગમાં લેવાય છે જ્યાં મજબૂત ફિલ્ટરિંગ જરૂરી છે.

* સામગ્રી: કઠોર વાતાવરણ અને રસાયણોનો સામનો કરવા માટે સામાન્ય રીતે સિન્ટર્ડ સ્ટેનલેસ સ્ટીલ અથવા અન્ય ધાતુના એલોયથી બનેલું.

11.હાઇડ્રોફોબિક ગેસ ફિલ્ટર્સ

*હેતુ: ભેજ અથવા પાણીની વરાળને ગેસ પ્રવાહમાં પ્રવેશતા અટકાવવા માટે, જે ચોક્કસ પ્રક્રિયાઓમાં મહત્વપૂર્ણ છે જે ભેજની માત્રાને પણ ટ્રેસ કરવા માટે સંવેદનશીલ હોય છે.

*ઉપયોગ: ઘણીવાર વેફર સૂકવણી અથવા પ્લાઝ્મા એચીંગ જેવી પ્રક્રિયાઓમાં વપરાય છે.

* સામગ્રી: હાઇડ્રોફોબિક પટલ, જેમ કે પીટીએફઇ, ખાતરી કરવા માટે કે વાયુઓ ભેજના દૂષણથી મુક્ત રહે છે.

આ વિવિધ પ્રકારના ગેસ ફિલ્ટર્સ તેમની વિશિષ્ટ ગુણધર્મો, સામગ્રીની સુસંગતતા અને સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પ્રક્રિયાઓની અનન્ય પરિસ્થિતિઓ માટે યોગ્યતાના આધારે કાળજીપૂર્વક પસંદ કરવામાં આવે છે. ઉચ્ચતમ સ્તરની ગેસ શુદ્ધતા જાળવવા, પ્રક્રિયાની સ્થિરતા સુનિશ્ચિત કરવા અને સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણોમાં ખામીને રોકવા માટે ફિલ્ટર્સનું યોગ્ય સંયોજન જરૂરી છે.

સેમિકન્ડક્ટર ગેસ ફિલ્ટર વિશેના કેટલાક FAQ

FAQ 1:

સેમિકન્ડક્ટર ગેસ ફિલ્ટર્સ શું છે અને તે શા માટે મહત્વપૂર્ણ છે?

સેમિકન્ડક્ટર ગેસ ફિલ્ટર સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પ્રક્રિયામાં મહત્વપૂર્ણ ઘટકો છે.

તેઓ પ્રક્રિયા વાયુઓમાંથી અશુદ્ધિઓ અને દૂષકોને દૂર કરવા માટે રચાયેલ છે, જેમ કેઓક્સિજન,

નાઇટ્રોજન, હાઇડ્રોજન અને વિવિધ રાસાયણિક વાયુઓ.

આ અશુદ્ધિઓ સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણોની ગુણવત્તા, ઉપજ અને વિશ્વસનીયતાને નોંધપાત્ર રીતે અસર કરી શકે છે.

ગેસ સ્ટ્રીમ્સને અસરકારક રીતે ફિલ્ટર કરીને, સેમિકન્ડક્ટર ગેસ ફિલ્ટર્સ આમાં મદદ કરે છે:

1.ઉચ્ચ શુદ્ધતા જાળવી રાખો:

ખાતરી કરો કે ઉત્પાદન પ્રક્રિયામાં વપરાતા વાયુઓ દૂષણોથી મુક્ત છે જે ઉપકરણની કામગીરીને બગાડી શકે છે.

2.સાધનોને નુકસાન અટકાવો:

સંવેદનશીલ સેમિકન્ડક્ટર સાધનોને કણ અને રાસાયણિક દૂષણથી સુરક્ષિત કરો, જે મોંઘા ડાઉનટાઇમ અને સમારકામ તરફ દોરી શકે છે.

3. ઉત્પાદન ઉપજમાં સુધારો:

ગેસ-જન્મિત અશુદ્ધિઓને કારણે ખામીઓ અને નિષ્ફળતાઓ ઘટાડવી, જેના પરિણામે ઉચ્ચ ઉત્પાદન ઉપજ મળે છે.

4. ઉપકરણની વિશ્વસનીયતામાં વધારો:

દૂષણ-સંબંધિત મુદ્દાઓને કારણે સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણોના લાંબા ગાળાના અધોગતિને ન્યૂનતમ કરો.

FAQ 2:

સેમિકન્ડક્ટર ગેસ ફિલ્ટર્સના સામાન્ય પ્રકારો શું છે?

સેમિકન્ડક્ટર મેન્યુફેક્ચરિંગમાં કેટલાક પ્રકારના ગેસ ફિલ્ટર્સનો ઉપયોગ કરવામાં આવે છે, દરેક દૂર કરવા માટે રચાયેલ છે.

ચોક્કસ પ્રકારના દૂષણો.

સૌથી સામાન્ય પ્રકારોમાં નીચેનાનો સમાવેશ થાય છે:

1.પાર્ટિક્યુલેટ ફિલ્ટર્સ:

આ ફિલ્ટર ગેસના પ્રવાહોમાંથી ઘન કણો, જેમ કે ધૂળ, તંતુઓ અને ધાતુના કણોને દૂર કરે છે.

તેઓ સામાન્ય રીતે સિન્ટર્ડ મેટલ, સિરામિક અથવા મેમ્બ્રેન ફિલ્ટર જેવી સામગ્રીથી બનેલા હોય છે.

2.કેમિકલ ફિલ્ટર્સ:

આ ફિલ્ટર રાસાયણિક અશુદ્ધિઓને દૂર કરે છે, જેમ કે પાણીની વરાળ, હાઇડ્રોકાર્બન અને કાટરોધક વાયુઓ.

તેઓ મોટાભાગે સક્રિય કાર્બન જેવી સામગ્રીનો ઉપયોગ કરીને શોષણ અથવા શોષણના સિદ્ધાંતો પર આધારિત હોય છે.

પરમાણુ sieves, અથવા રાસાયણિક sorbents.

3. કોમ્બિનેશન ફિલ્ટર્સ:

આ ફિલ્ટર્સ કણ અને રાસાયણિક ફિલ્ટર્સની ક્ષમતાઓને જોડીને બંને પ્રકારના

દૂષકો તેઓ ઘણીવાર જટિલ એપ્લિકેશન્સમાં ઉપયોગમાં લેવાય છે જ્યાં ઉચ્ચ શુદ્ધતા આવશ્યક છે.

FAQ 3:

સેમિકન્ડક્ટર ગેસ ફિલ્ટર્સ કેવી રીતે પસંદ અને ડિઝાઇન કરવામાં આવે છે?

સેમિકન્ડક્ટર ગેસ ફિલ્ટરની પસંદગી અને ડિઝાઇનમાં ઘણા પરિબળોનો સમાવેશ થાય છે, જેમાં નીચેનાનો સમાવેશ થાય છે:

* ગેસ શુદ્ધતા જરૂરિયાતો:

ચોક્કસ ગેસ પ્રવાહ માટે શુદ્ધતાનું ઇચ્છિત સ્તર ફિલ્ટરની ગાળણ કાર્યક્ષમતા અને ક્ષમતા નક્કી કરે છે.

* પ્રવાહ દર અને દબાણ:

ફિલ્ટર કરવાના ગેસનું પ્રમાણ અને ઓપરેટિંગ દબાણ ફિલ્ટરના કદ, સામગ્રી અને ગોઠવણીને પ્રભાવિત કરે છે.

* દૂષિત પ્રકાર અને સાંદ્રતા:

ગેસ પ્રવાહમાં હાજર ચોક્કસ પ્રકારના દૂષકો ફિલ્ટર મીડિયા અને તેના છિદ્રના કદની પસંદગી નક્કી કરે છે.

*તાપમાન અને ભેજ:

ઓપરેટિંગ શરતો ફિલ્ટરના પ્રદર્શન અને જીવનકાળને અસર કરી શકે છે.

*ખર્ચ અને જાળવણી:

ફિલ્ટરની પ્રારંભિક કિંમત અને તેની ચાલુ જાળવણીની જરૂરિયાતો ધ્યાનમાં લેવી આવશ્યક છે.

આ પરિબળોને કાળજીપૂર્વક ધ્યાનમાં લઈને, એન્જિનિયરો વિશિષ્ટતાઓને પૂર્ણ કરતા ગેસ ફિલ્ટર્સ પસંદ કરી અને ડિઝાઇન કરી શકે છે

સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પ્રક્રિયાની જરૂરિયાતો.

સેમિકન્ડક્ટર મેન્યુફેક્ચરિંગમાં ગેસ ફિલ્ટરને કેટલી વાર બદલવું જોઈએ?

સેમિકન્ડક્ટર મેન્યુફેક્ચરિંગમાં ગેસ ફિલ્ટર્સની રિપ્લેસમેન્ટ ફ્રીક્વન્સી ઘણા પરિબળો પર આધારિત છે, જેમાં

પ્રક્રિયા, દૂષકોનું સ્તર અને ઉપયોગમાં લેવાતા ચોક્કસ પ્રકારનું ફિલ્ટર. સામાન્ય રીતે, ગેસ ફિલ્ટર નિયમિતપણે બદલવામાં આવે છે

દૂષણના કોઈપણ જોખમને રોકવા માટે જાળવણી શેડ્યૂલ,ઘણીવાર દર 6 થી 12 મહિનામાં, વપરાશ શરતો પર આધાર રાખીને

અને ફિલ્ટર ઉત્પાદક તરફથી ભલામણો.

જો કે, ઓપરેટિંગ વાતાવરણના આધારે રિપ્લેસમેન્ટ શેડ્યૂલ વ્યાપકપણે બદલાઈ શકે છે. દાખલા તરીકે:

*ઉચ્ચ-દૂષિત પ્રક્રિયાઓ:

ફિલ્ટર્સને વધુ વારંવાર બદલવાની જરૂર પડી શકે છે જો તે ઉચ્ચ સ્તરના સંપર્કમાં આવે

રજકણ અથવા મોલેક્યુલર દૂષણ.

* જટિલ એપ્લિકેશનો:

અત્યંત ઉચ્ચ શુદ્ધતાની માંગ કરતી પ્રક્રિયાઓમાં (દા.ત., ફોટોલિથોગ્રાફી), ફિલ્ટર્સ વારંવાર બદલવામાં આવે છે

આગોતરી ખાતરી કરવા માટે કે ગેસની ગુણવત્તા સાથે ચેડા ન થાય.

ફિલ્ટર પર વિભેદક દબાણનું નિરીક્ષણ કરવું એ ફિલ્ટરને ક્યારે બદલવાની જરૂર છે તે નક્કી કરવા માટેની એક સામાન્ય પદ્ધતિ છે.

જેમ જેમ દૂષકો એકઠા થાય છે તેમ, ફિલ્ટર પર દબાણમાં ઘટાડો થાય છે, જે કાર્યક્ષમતામાં ઘટાડો દર્શાવે છે.

ફિલ્ટર્સની કાર્યક્ષમતામાં ઘટાડો થાય તે પહેલાં તેને બદલવું મહત્વપૂર્ણ છે, કારણ કે ગેસ શુદ્ધતામાં કોઈપણ ઉલ્લંઘન નોંધપાત્ર ખામીઓનું કારણ બની શકે છે,

ઉપજ ઘટાડે છે, અને સાધનસામગ્રીને નુકસાન પણ થાય છે.

સેમિકન્ડક્ટર એપ્લીકેશન માટે ગેસ ફિલ્ટર કઈ સામગ્રીમાંથી બને છે?

સેમિકન્ડક્ટર એપ્લીકેશનમાં વપરાતા ગેસ ફિલ્ટર્સ એવી સામગ્રીમાંથી બનાવવામાં આવે છે જે ઉચ્ચતમ શુદ્ધતાના ધોરણો જાળવી શકે છે

અને ઉત્પાદનમાં જોવા મળતા કઠોર વાતાવરણનો સામનો કરે છે. સામાન્ય સામગ્રીમાં શામેલ છે:

*સ્ટેઈનલેસ સ્ટીલ (316L): તેના રાસાયણિક પ્રતિકાર, યાંત્રિક શક્તિ અને કારણે સૌથી વધુ ઉપયોગમાં લેવાતી સામગ્રી

સિન્ટરિંગ ટેક્નોલૉજીનો ઉપયોગ કરીને ચોક્કસ છિદ્ર કદ સાથે ફેબ્રિકેટ કરવાની ક્ષમતા. તે બંને પ્રતિક્રિયાશીલ ફિલ્ટર કરવા માટે યોગ્ય છે

અને નિષ્ક્રિય વાયુઓ.

*PTFE (પોલિટેટ્રાફ્લોરોઇથિલિન): PTFE એ રાસાયણિક રીતે નિષ્ક્રિય સામગ્રી છે જેનો ઉપયોગ અત્યંત પ્રતિક્રિયાશીલ અથવા કાટ લાગવાને ફિલ્ટર કરવા માટે થાય છે.

વાયુઓ તે ઉત્તમ રાસાયણિક સુસંગતતા અને હાઇડ્રોફોબિક ગુણધર્મો ધરાવે છે, જે તેને ભેજ-સંવેદનશીલ માટે આદર્શ બનાવે છે.

પ્રક્રિયાઓ

*નિકલ અને હેસ્ટેલોય:

આ સામગ્રીનો ઉપયોગ ઉચ્ચ-તાપમાનના ઉપયોગ માટે અથવા આક્રમક રસાયણોને સમાવિષ્ટ પ્રક્રિયાઓ માટે કરવામાં આવે છે

જ્યાં સ્ટેનલેસ સ્ટીલ બગડી શકે છે.

* સિરામિક:

સિરામિક ફિલ્ટર્સનો ઉપયોગ એપ્લીકેશન માટે થાય છે જ્યાં આત્યંતિક તાપમાન પ્રતિકાર જરૂરી હોય અથવા સબ-માઈક્રોન માટે

કણોનું ગાળણ.

સામગ્રીની પસંદગી ગેસના પ્રકાર, પ્રતિક્રિયાશીલ પ્રજાતિઓની હાજરી, તાપમાન અને પર આધારિત છે

અન્ય પ્રક્રિયા પરિમાણો. સામગ્રીઓ બિન-પ્રતિક્રિયાશીલ હોવી જોઈએ તેની ખાતરી કરવા માટે કે તેઓ કોઈપણ અશુદ્ધિઓ દાખલ કરતા નથી

અથવા પ્રક્રિયામાં કણો, આમ સેમિકન્ડક્ટર ફેબ્રિકેશન માટે જરૂરી ગેસ શુદ્ધતા સ્તર જાળવી રાખે છે.

સેમિકન્ડક્ટર મેન્યુફેક્ચરિંગમાં પોઈન્ટ-ઓફ-યુઝ (POU) ફિલ્ટર્સની ભૂમિકા શું છે?

સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદનમાં પોઈન્ટ-ઓફ-યુઝ (POU) ફિલ્ટર્સ આવશ્યક છે, કારણ કે તેઓ ખાતરી કરે છે કે ગેસ તરત જ શુદ્ધ થાય છે.

પ્રક્રિયા સાધનો દાખલ કરો. આ ફિલ્ટર્સ ગેસ પ્રવાહમાં પ્રવેશેલા દૂષણો સામે અંતિમ સુરક્ષા પ્રદાન કરે છે

સંગ્રહ, પરિવહન અથવા વિતરણ દરમિયાન, ત્યાં પ્રક્રિયાની સ્થિરતા અને ઉત્પાદનની ગુણવત્તામાં વધારો થાય છે.

POU ફિલ્ટર્સના મુખ્ય ફાયદા:

* દૂષણને વેફર સુધી પહોંચતું અટકાવવા માટે જટિલ સાધનો (દા.ત., એચીંગ અથવા ડિપોઝિશન ચેમ્બર) ની નજીક સ્થિત.

*ગેસ હેન્ડલિંગ સિસ્ટમ અથવા પર્યાવરણીય એક્સપોઝર દ્વારા રજૂ કરી શકાય તેવા પાર્ટિક્યુલેટ અને મોલેક્યુલર અશુદ્ધિઓ બંનેને દૂર કરો.

*સુનિશ્ચિત કરો કે સૌથી વધુ શક્ય ગેસ ગુણવત્તા પ્રોસેસ ટૂલમાં પહોંચાડવામાં આવે છે, સાધનોનું રક્ષણ કરે છે અને ઉત્પાદિત ઉપકરણોની ગુણવત્તામાં વધારો કરે છે.

*પ્રક્રિયાની પરિવર્તનશીલતા ઘટાડવી, ઉપજમાં વધારો અને ખામીના સ્તરમાં ઘટાડો.

*અદ્યતન સેમિકન્ડક્ટર વાતાવરણમાં અનિવાર્ય જ્યાં નાની અશુદ્ધિઓ પણ ઉત્પાદકતા અને ઉત્પાદનની વિશ્વસનીયતાને નોંધપાત્ર રીતે અસર કરી શકે છે.

ગેસ ફિલ્ટર્સ સેમિકન્ડક્ટર પ્રક્રિયાઓમાં સાધનોના ડાઉનટાઇમને કેવી રીતે અટકાવે છે?

ગેસ ફિલ્ટર સેમિકન્ડક્ટર પ્રક્રિયાઓમાં સાધનસામગ્રીના ડાઉનટાઇમને અટકાવે છે તેની ખાતરી કરીને કે પ્રક્રિયા વાયુઓ સતત મુક્ત છે.

દૂષકો કે જે ઉત્પાદન સાધનોને નુકસાન પહોંચાડી શકે છે. સેમિકન્ડક્ટર ફેબ્રિકેશનમાં અત્યંત ઉપયોગનો સમાવેશ થાય છે

ડિપોઝિશન ચેમ્બર, પ્લાઝ્મા એચિંગ મશીન અને ફોટોલિથોગ્રાફી સિસ્ટમ્સ સહિત સંવેદનશીલ સાધનો.

જો ધૂળ, ભેજ અથવા પ્રતિક્રિયાશીલ અશુદ્ધિઓ જેવા દૂષકો આ મશીનોમાં પ્રવેશ કરે છે, તો તે ઘણી સમસ્યાઓનું કારણ બની શકે છે,

ક્લોગિંગ વાલ્વ અને નોઝલથી લઈને વેફર સપાટી અથવા રિએક્ટરના આંતરિક ભાગોને નુકસાન પહોંચાડવા સુધી.

ઉચ્ચ-ગુણવત્તાવાળા ગેસ ફિલ્ટર્સનો ઉપયોગ કરીને, ઉત્પાદકો આ દૂષકોના પ્રવેશને અટકાવે છે, તેની સંભાવના ઘટાડે છે.

બિનઆયોજિત જાળવણી અને સાધનોના ભંગાણ. આ સ્થિર ઉત્પાદન સમયપત્રક જાળવવામાં મદદ કરે છે, ઘટાડવામાં

ખર્ચાળ ડાઉનટાઇમ, અને સમારકામ અથવા રિપ્લેસમેન્ટ સાથે સંકળાયેલા નોંધપાત્ર ખર્ચને ટાળવા.

વધુમાં, સારી રીતે જાળવવામાં આવેલા ફિલ્ટર્સ મુખ્ય ઘટકોના જીવનકાળને લંબાવવામાં મદદ કરે છે, જેમ કે ફ્લો કંટ્રોલર, વાલ્વ અને રિએક્ટર,

આમ ઉત્પાદન પ્રક્રિયાની એકંદર કાર્યક્ષમતા અને નફાકારકતામાં વધારો થાય છે.

તેથી સેમિકન્ડક્ટર ગેસ ફિલ્ટર્સ વિશે કેટલીક વિગતો તપાસ્યા પછી, જો તમારી પાસે હજુ પણ કેટલાક પ્રશ્નો હોય.

ઉચ્ચ-ગુણવત્તાવાળા ગેસ ફિલ્ટરેશન સોલ્યુશન્સ સાથે તમારી સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પ્રક્રિયાને ઑપ્ટિમાઇઝ કરવા માટે તૈયાર છો?

તમારી જરૂરિયાતોને પહોંચી વળવા માટે નિષ્ણાત માર્ગદર્શન અને કસ્ટમાઇઝ્ડ સોલ્યુશન્સ માટે આજે જ HENGKO નો સંપર્ક કરો.

સેમિકન્ડક્ટર ગેસ ફિલ્ટર વિશે કેટલીક વિગતોની માહિતી તપાસ્યા પછી, જો તમને વધુ પ્રશ્નો હોય તો?

ઉચ્ચ-ગુણવત્તાવાળા ગેસ ફિલ્ટરેશન સોલ્યુશન્સ સાથે તમારી સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પ્રક્રિયાને ઑપ્ટિમાઇઝ કરવા માટે તૈયાર છો?

તમારી જરૂરિયાતોને પહોંચી વળવા માટે નિષ્ણાત માર્ગદર્શન અને કસ્ટમાઇઝ્ડ સોલ્યુશન્સ માટે આજે જ HENGKO નો સંપર્ક કરો.

અમને ઈમેઈલ કરોka@hengko.comવધુ માહિતી માટે.

અમારી ટીમ તમારી ઉત્પાદન કાર્યક્ષમતા અને ઉત્પાદનની ગુણવત્તા વધારવામાં તમારી સહાય કરવા માટે અહીં છે.