Pooljuhtfiltrid

Pooljuhtide gaasifiltrid:

Gaasi laitmatu puhtuse tagamine kiibi valmistamisel

Pooljuhtide valmistamise keerulises maailmas, kus täpsus ja puhtus on ülimalt tähtsad, on

kasutatavad gaasid mängivad protsessi edukuse määramisel otsustavat rolli. Lisandid, isegi lõpmata väikesel tasemel,

võib hävitada mikrokiipide õrna vooluringi, muutes need defektseks ja kasutuskõlbmatuks. Kaitseks

selles kriitilises protsessis on pooljuhtgaasifiltrid vankumatud valvurid, eemaldades hoolikalt saasteained

ja tootmisliinide kaudu voolavate gaaside puutumatu kvaliteedi tagamine.

Paagutatud metallfiltritel on palju suurepäraseid omadusi ja eeliseid

1. Valmistatud nüüdisaegses puhasruumi keskkonnas

Need filtrid sünnivad nüüdisaegses puhasruumis, keskkonnas, kus hoitakse hoolikalt laitmatuid tingimusi, et minimeerida võimalikku saastumist. Need läbivad range tootmisprotsessi, alustades täppiskeevitusega puhastatud õhu atmosfääris. Järgnev deioniseeritud veega loputus, millele järgneb kõrgsurve filtreeritud lämmastikuga läbipuhumine, kõrvaldab kõik püsivad osakesed ja vähendab osakeste levimise ohtu.

2. Erakordne osakeste eemaldamise efektiivsus

Märkimisväärse filtreerimisefektiivsusega 9 LRV 0,003 μm osakeste puhul, järgides SEMI F38 ja ISO 12500 katsemeetoditega kehtestatud rangeid standardeid, eemaldavad need filtrid tõhusalt kõik korrosioonist põhjustatud osakesed ja liikuvatest osadest tekkivad osakesed, tagades seadme põlise puhtuse. gaasid.

3. Suurepärane mehaaniline tugevus

Need filtrid, mida on rangelt testitud, et tagada erakordne vastupidavus nõudlikes tootmisprotsessides ja keskkondades, kus kasutatakse sageli kõrget gaasirõhku, tagavad need filtrid vankumatu jõudluse kogu nende eluea jooksul.

4. Kõrgeimate tööstusstandardite ületamine

Need filtrid, mis ületavad pooljuhtide töötlemise rangeid gaasikäitlemise filtreerimisnõudeid, läbivad range testimise, et tagada nende vastavus kriitilisele filtreerimise efektiivsusele, täpsele vooluhulga juhtimisele ja ohutusstandarditele, mida pooljuhtide tootmises nõutavad gaasivarustussüsteemid.

5. Vankumatu pühendumus ohutusele

Tuleohtlike, söövitavate, toksiliste ja pürofoorsete protsessigaasidega kokkupuutumise eest kaitsmiseks läbivad filtrikorpused põhjaliku lekketesti, tagades, et need saavutavad märkimisväärse lekkekiiruse, mis on väiksem kui 1x10-9 atm scc/s. See vankumatu pühendumus ohutusele tagab ohtlike gaaside sisalduse ja nende kahjustamise vältimise.

6. Kompromissitu puhtus kiibi valmistamisel

Tänu oma erakordsele filtreerimisvõimele, vankumatule ohutusele pühendumisele ja tööstusharu kõrgeimatele standarditele järgimisele on neil gaasifiltritel keskne roll pooljuhtide valmistamise keeruka protsessi kaitsmisel. Nad on puhtuse eestkostjad, tagades, et ainult kõige puhtamad gaasid voolavad läbi tootmisliinide, sillutades teed suure jõudlusega mikrokiipide loomisele, mis toidavad meie kaasaegset maailma.

Pooljuhtfiltrite tüübid

Pooljuhtfiltreid kasutatakse mitmesugustes rakendustes, sealhulgas:

* Elektroonika tootmine:

Pooljuhtfiltreid kasutatakse osakeste eemaldamiseks ülipuhast veest, gaasidest ja pooljuhtide valmistamisel kasutatavatest kemikaalidest.

* Keemiline mehaaniline tasandamine (CMP):

Pooljuhtfiltreid kasutatakse osakeste eemaldamiseks CMP suspensioonidest, mida kasutatakse pooljuhtplaatide poleerimiseks.

* Biomeditsiiniline:

Pooljuhtfiltreid kasutatakse meditsiinilises diagnostikas ja ravis kasutatavate vedelike osakeste eemaldamiseks.

* Keskkonnakaitse:

Pooljuhtfiltreid kasutatakse osakeste eemaldamiseks õhust ja veest.

Pooljuhtfiltreid on neli peamist tüüpi:

1. Membraanfiltrid:

Membraanfiltrid on valmistatud õhukesest poorsest kilest, mis laseb vedelikel osakesi kinni püüdes läbi.

 

Membraanfiltrid pooljuhtidele

 

 

2. Sügavusfiltrid:

Sügavusfiltrid on valmistatud paksust käänulisest materjalist, mis püüab filtrist läbi voolates osakesed kinni.

 

Sügavusfiltrid pooljuhtidele

 

 

3. Adsorbeerivad filtrid:

Adsorbeerivad filtrid on valmistatud materjalist, mis tõmbab osakesi ligi ja hoiab kinni.

 

 Adsorbeerivad filtrid pooljuhtidele

 

 

4. Paagutatud metallist filtrid

Paagutatud metallfiltrid on teatud tüüpi sügavusfiltrid, mida tavaliselt kasutatakse pooljuhtide tootmisel. Need on valmistatud peene metallipulbri paagutamisel poorseks struktuuriks. Paagutatud metallfiltrid on tuntud oma suure vastupidavuse, kõrge filtreerimise efektiivsuse ning kõrgete temperatuuride ja rõhu taluvuse poolest.

Paagutatud metallfiltrite eelised pooljuhtide tootmisel:

* Kõrge vastupidavus:

Paagutatud metallfiltrid on väga vastupidavad ja taluvad raskeid töötingimusi, sealhulgas kõrgeid temperatuure, rõhku ja söövitavaid kemikaale.

 

* Kõrge filtreerimise efektiivsus:

Paagutatud metallfiltrid suudavad eemaldada kuni 0,01 mikroni suuruseid osakesi, mis on oluline õrnade pooljuhtkomponentide kaitsmiseks saastumise eest.

* Pikk eluiga:

Paagutatud metallfiltritel on pikk eluiga ning neid saab kergesti puhastada ja taaskasutada.

* Keemiline ühilduvus:

Paagutatud metallfiltrid ühilduvad paljude kemikaalidega, mistõttu sobivad need kasutamiseks erinevates pooljuhtide tootmisprotsessides.

Paagutatud metallfiltrite kasutusalad pooljuhtide tootmisel:

* Gaasi puhastamine:

Paagutatud metallfiltreid kasutatakse pooljuhtide tootmisel kasutatavate gaaside, näiteks lämmastiku, vesiniku ja hapniku puhastamiseks.

* Keemiline filtreerimine:

Paagutatud metallfiltreid kasutatakse pooljuhtide valmistamisel kasutatavate kemikaalide, näiteks hapete, aluste ja lahustite filtreerimiseks.

* Ultrapuhas vee filtreerimine:

Paagutatud metallfiltreid kasutatakse pooljuhtide valmistamisel kasutatava ülipuhta vee filtreerimiseks.

* CMP lobri filtreerimine:

Paagutatud metallfiltreid kasutatakse CMP suspensioonide filtreerimiseks, mida kasutatakse pooljuhtvahvlite poleerimiseks.

Paagutatud metallfiltrid on pooljuhtide tootmisprotsessi oluline osa, mis aitab tagada kvaliteetsete pooljuhtseadmete tootmise.

 

Konkreetses rakenduses kasutatava pooljuhtfiltri tüüp sõltub eemaldatavate osakeste suurusest, filtreeritava vedeliku tüübist ja soovitud filtreerimistasemest.

Siin on tabel, mis võtab kokku erinevat tüüpi pooljuhtfiltrid:

Filtri tüüp	Kirjeldus	Rakendused	Pilt
Membraanfiltrid	Valmistatud õhukesest poorsest kilest, mis laseb vedelikel osakesi kinni püüdes läbi.	Elektroonika tootmine, CMP, biomeditsiin, keskkond	Membraanfiltrid pooljuhtidele
Sügavusfiltrid	Valmistatud paksust käänulisest materjalist, mis püüab filtrist läbi voolates osakesed kinni.	CMP, biomeditsiiniline, keskkond	Sügavusfiltrid pooljuhtidele
Adsorbeerivad filtrid	Valmistatud materjalist, mis tõmbab osakesi ligi ja hoiab kinni.	Elektroonika tootmine, CMP, biomeditsiin, keskkond	Adsorbeerivad filtrid pooljuhtidele
Paagutatud metallist filtrid	Valmistatud peene metallipulbri paagutamisel poorseks struktuuriks.	Gaasi puhastamine, keemiline filtreerimine, ülipuhas vee filtreerimine, CMP lobri filtreerimine	Avaneb uues aknaswww.hengko.com Paagutatud metallfiltrid pooljuhtidele

Rakendus

Paagutatud metallist pooljuhtide gaasifiltreid kasutatakse pooljuhtide tööstuses laialdaselt mitmesugustes rakendustes. Nende ainulaadsed omadused, nagu kõrge filtreerimise tõhusus, vastupidavus ja kõrge temperatuuri ja rõhu taluvus, muudavad need pooljuhtide tootmises kasutatavate gaasivarustussüsteemide oluliseks komponendiks.

Siin on mõned paagutatud metallist pooljuhtgaasifiltrite konkreetsed rakendused:

1. Vahvlite tootmine:

Paagutatud metallfiltreid kasutatakse vahvlite tootmisel kasutatavate gaaside, näiteks lämmastiku, vesiniku ja hapniku puhastamiseks. Need gaasid on olulised selliste protsesside jaoks nagu epitaksiaalne kasv, söövitamine ja doping.

2. Keemiline filtreerimine:

Paagutatud metallfiltreid kasutatakse pooljuhtide valmistamisel kasutatavate kemikaalide, näiteks hapete, aluste ja lahustite filtreerimiseks. Neid kemikaale kasutatakse erinevatel eesmärkidel, sealhulgas puhastamiseks, söövitamiseks ja poleerimiseks.

3. Ülipuhas vee filtreerimine:

Paagutatud metallfiltreid kasutatakse pooljuhtide tootmises kasutatava ülipuhta vee (UPW) filtreerimiseks. UPW on hädavajalik vahvlite puhastamiseks ja loputamiseks, samuti kemikaalide valmistamiseks.

4. CMP lobri filtreerimine:

Paagutatud metallfiltreid kasutatakse CMP suspensioonide filtreerimiseks, mida kasutatakse pooljuhtvahvlite poleerimiseks. CMP on mikrokiipide valmistamisel kriitiline protsess.

5. Kasutuskohas (POU) filtreerimine:

POU-filtritena kasutatakse sageli paagutatud metallfiltreid, mis paigaldatakse otse kasutuskohta, et tagada kõrgeim filtreerimisaste. POU-filtrid on eriti olulised rakendustes, kus gaasi puhtus on kriitiline, näiteks mikroprotsessorite ja muude suure jõudlusega seadmete valmistamisel.

6. Kõrge puhtusastmega gaasi käitlemine:

Paagutatud metallfiltreid kasutatakse kõrge puhtusastmega gaasikäitlussüsteemides, et eemaldada saasteaineid pooljuhtide valmistamisel kasutatavatest gaasidest. Need saasteained võivad sisaldada osakesi, niiskust ja orgaanilisi ühendeid.

7. Mikroelektroonika tootmine:

Paagutatud metallfiltreid kasutatakse mikroelektroonika, näiteks arvutite, tahvelarvutite, mobiiltelefonide, asjade interneti andurite ja juhtimisseadmete tootmisel.

8. Mikroelektromehaaniliste süsteemide (MEMS) filtreerimine:

Paagutatud metallfiltreid kasutatakse MEMS-filtratsioonis, mis on mikroelektromehaanilistest süsteemidest saasteainete eemaldamise protsess. MEMS-e kasutatakse mitmesugustes rakendustes, sealhulgas andurites, täiturmehhanismides ja muundurites.

9. Andmesalvestusseadme filtreerimine:

Paagutatud metallfiltreid kasutatakse andmesalvestusseadmete filtreerimisel, mille käigus eemaldatakse andmesalvestusseadmetest (nt kõvakettad ja pooljuhtdraivid) saasteained.

Lisaks nendele spetsiifilistele rakendustele kasutatakse paagutatud metallist pooljuhtgaasifiltreid ka paljudes muudes rakendustes pooljuhtide tööstuses. Nende mitmekülgsus ja töökindlus muudavad need pooljuhtide tootjate jaoks oluliseks tööriistaks.

Kas otsite tippkvaliteediga paagutatud metallist pooljuhtgaasifiltreid?

HENGKO on teie partner OEM-lahenduste osas pooljuhtide tootmissüsteemides.

Meie täppisprojekteeritud filtrid tagavad teie protsesside töökindluse ja tõhususe, pakkudes teile konkurentsitihedal turul eelist.

Miks valida HENGKO filtrid?

* Suurepärane kvaliteet ja vastupidavus
* Kohandatud lahendused, mis vastavad teie konkreetsetele vajadustele
* Täiustatud jõudlus pooljuhtide tootmisel

Ärge laske filtreerimisprobleemidel oma tootmist takistada.

Võtke meiega ühendust juba täna, et uurida, kuidas meie paagutatud metallfiltrid võivad teie tootmissüsteemi muuta.

Võtke meiega ühendust aadressilka@hengko.com

Tehke koostööd HENGKOga ja astuge samm tipptaseme poole pooljuhtide tootmises!