OEM-Kammerdiffusoren und -Filter aus hochreinem porösem Metall 316L
HENGKO OEM-GasKammerdiffusoren sorgen für gleichmäßige und laminare Gasströme ohne störende Partikel in der Kammer.Diese Diffusoren entfernen auch Partikel aus dem einströmenden Gas und minimieren so Defekte auf dem Wafer.Sie können höheren Betriebsdrücken standhalten und Produktintegritätszyklen aufrechterhalten.
TYPISCHE ANWENDUNGEN
Kammerdiffusoren werden zur Entlüftung in folgenden Anwendungen eingesetzt:
•Transferkammern
•Kühlkammern
•Prozesskammern
von Halbleitergeräteschnittstellen (CVD, PVD, Etch, Epi) oder anderen Vakuumkammern
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OEM-Kammerdiffusoren und -Filter aus hochreinem porösem Metall, Edelstahl 316L
1. Genaue Porengröße, gleichmäßige und gleichmäßig verteilte Öffnungen.Porengrößenbereich: 0,1 um bis 120 Mikrometer;
2. Gute Atmungsaktivität, schnelle Gas- und Flüssigkeitsströmungsrate und gleichmäßige Divergenz.Durch die Optimierung spezieller Prozesse in HENGKO ist es anderen vergleichbaren Produkten weit überlegen.
3. Gute Filtration, Staubdichtigkeit und Abfangwirkung, hohe Filtrationseffizienz.Die Porengröße, die Strömungsgeschwindigkeit und andere Leistungen können je nach Bedarf angepasst werden;
4. Hohe Tragfähigkeit, keine Notwendigkeit, andere Hilfsstützen zu verwenden, kann direkt als Strukturelemente verwendet werden;
5. Stabile Struktur, Partikel sind ohne Migration fest gebunden und unter rauen Umgebungsbedingungen nahezu untrennbar;
6. Hohe Dauerfestigkeit und Schlagbeanspruchung, hochdruckbeständig, geeignet für Anwendungen mit hoher Druckdifferenz und Durchflussmenge.Es sind gesinterte poröse Edelstahlfilterelemente für den Langzeiteinsatz unter Hochdruckflüssigkeitsbedingungen (40 MPa) erhältlich.
7. Beständigkeit gegen hohe Temperaturen und Hitzeschock.HENGKO-Edelstahlfilterelemente können bei 600 Grad Celsius betrieben werden und halten hohen Temperaturen auch in oxidierten Atmosphären stand.
8. Hervorragende Trenn- und Geräuschreduzierungsfunktionen aufgrund der speziellen mehrdimensionalen Wabenstruktur mit verschachtelten Kapillaren;
9. Im Gegensatz zu anderen Produkten sind HENGKO-Edelstahlfilterelemente in einer Vielzahl von Umgebungen nicht korrodiert.Die Leistungen in Bezug auf Korrosionsschutz und Rostschutz kommen denen dichter Edelstahlprodukte nahe;
10. Mehr als 10.000 Produktgrößen und -typen zur Auswahl, anpassbar nach Bedarf für Edelstahl-Filterprodukte mit mehreren komplexen Strukturen;
11. Winziger Durchmesser (5-20 mm), die Länge für lange Filterrohre kann bis zu 800 mm betragen;
12. Die verarbeitbaren Abmessungen für Plattenfilter können bis zu L 800 * B 450 mm betragen;
13. Der maximale Durchmesser für einen Scheibenfilter kann bis zu 450 mm betragen;
14. Das exquisite Erscheinungsbild des Produkts wird Ihr Produktniveau und Ihr Image erheblich verbessern, da es sichtbare Teile darstellt.
15. Es stehen verschiedene Reinigungsmethoden zur Verfügung, starke Regenerationsfähigkeit nach Rückreinigung, lange Lebensdauer.
